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    羅茨真空泵的工作原理

    發布時間: 2025-10-17  點擊次數: 529次
      羅茨真空泵,又被稱為機械增壓泵,是一種容積式真空泵。它的工作原理與我們熟悉的羅茨鼓風機非常相似,但其設計和應用是針對真空環境的。
     
      我們可以通過以下幾個核心要點來理解其工作原理:
     
      一、核心結構
     
      羅茨泵的核心結構相對簡單,主要包括:
     
      1.  一對“8”字形轉子:兩個相同的葉形轉子,在泵腔內平行安裝。它們的葉形是嚴格按數學規律設計的共軛曲線(通常是漸開線),確保在運轉時互不接觸。
     
      2.  同步齒輪:安裝在泵體外的一對精密齒輪。它的關鍵作用是強制驅動兩個轉子保持同步、反向旋轉,并維持它們之間以及它們與泵殼之間極小的間隙。
     
      3.  泵殼:容納轉子和形成密閉空間的腔體。
     
      二、工作過程(一個循環周期)
     
      羅茨泵的工作原理可以看作是一個連續的“氣體搬運”過程,其本身并不對氣體進行壓縮。具體步驟如下:
     
      1.  吸氣階段:
     
      轉子由電機通過同步齒輪驅動,進行高速、反向旋轉。
     
      當其中一個轉子的前端脫離泵腔的進氣口邊緣時,進氣口與泵腔連通。由于轉子的不斷旋轉,它們會在進氣口一側形成一個不斷增大的容積空間,從而將氣體從進氣口“捕獲”并帶入泵腔。
     
      2.  隔離與輸送階段:
     
      轉子繼續旋轉,將一定量的氣體隔離在兩個轉子與泵殼之間形成的封閉空間內(這個空間被稱為“氣穴”)。
     
      此時,進氣口和排氣口都被轉子封閉,與這個“氣穴”不相通。轉子就像一對非接觸的活塞,將氣體封閉并原封不動地向排氣口方向推送。
     
      3.  排氣階段:
     
      當轉子的前端旋轉到接近排氣口邊緣時,被封閉的“氣穴”開始與排氣口連通。
     
      此時,由于前級泵(這是羅茨泵系統的組成部分)已經在排氣口維持了一個較高的壓力(通常是1-100 Pa量級),而被輸送過來的氣體壓力較低,高壓氣體會迅速“倒灌”回這個“氣穴”空間,使其壓力在瞬間與前級壓力平衡。
     
      轉子繼續旋轉,最終將這部分已經升壓的氣體全部推擠到排氣口,由前級泵抽走。
     
      這個過程周而復始,實現了氣體從低壓側(入口)向高壓側(出口)的連續輸送。
     
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